av
Renrum
På Mittuniversitetet har vi ett renrum på cirka 250 m² som är klass 1000 (ISO 6). I renrummet tillåts inga partiklar eftersom de kan störa forskningen. Detta kräver stor precision vid in- och utgången i renrummet.
Både forskare och studenter använder renrummet i utbildning och forskning. Renrummet är specialiserat på tillverkning av strålningshalvledarsensorer och mikromekaniska sensorer. Till exempel kan du skapa egna dioder och mäta deras funktion. Detta är en av de uppgifter våra elever gör i renrummet.
Renrummet är indelat i följande områden:
- Litografiskt område
- Avlagring av metall- och dielektriska filmer
- Implantation
- Diffusionsområde
- Torretsområde
- Karaktärisering
- Tärning och koppling
Kontakt