Elektronik, Processning och processimulering av halvledarkomponenter, 7,5 hp
Observera att kurslitteraturen kan ändras/revideras fram till:
• 1 juni för en kurs som startar på höstterminen
• 15 november för en kurs som startar på vårterminen
• 1 april för en kurs som startar på sommaren
Skriv ut eller spara kursplanen som PDF
Du kan enkelt skriva ut en kursplan direkt från webbsidan. Använd kortkommandot ctrl+p (Windows) eller command+p (Mac). I nästa steg väljer du om du vill skriva ut eller spara kursplanen som PDF.
För en nedlagd kurs kan eventuell information om avvecklingsperiod hittas under rubriken "Övergångsregel" i senaste versionen av kursplanen.
Kursplan för:
Elektronik, Processning och processimulering av halvledarkomponenter, 7,5 hp
Electronics, Processing methods and Process Simulation of Semiconductor Devices, 7.5 credits
Allmänna data om kursen
- Kurskod:ELA007F
- Forskarutbildningsämne:Elektronik
- Nivå:Forskarnivå
- Högskolepoäng:7,5
- Ansvarig fakultet:Fakulteten för naturvetenskap, teknik och medier
- Ansvarig institution:Data- och elektroteknik
- Fastställd:2018-01-15
- Giltig fr.o.m:2017-01-30
Syfte
Kursen syftar till att ge den forskarstuderande möjlighet att självständigt läsa, granska och redovisa moment avseende moderna processmetoder och processimulering av halvledarkomponenter.
Lärandemål
Kursdeltagaren ska efter avslutad kurs kunna:
- Analysera komplexa problemställningar där processmetoder och simuleringsverktyg ingår i ett sammanhang.
- Kunna värdera innehållet i vetenskapligt publicerade artiklar och omsätta informationen i ett forskningsprojekt innehållande processimuleringsmodeller och processmetoder
Innehåll
Kursen omfattar:
Simuleringsmodeller och processmetoder för:
Litografi
Oxidering
Diffusion av dopämnen
Jon Implantation
Deponering av tunna filmer
Etsning av bulk och tunna filmer
Kontaktering, flerlagerstrukturer
Behörighet
För tillträde till kursen krävs att den studerande är antagen till utbildning på forskarnivå, samt kan tillgodoräkna sig kursen i sin forskarutbildning.
(Äldre gymnasiebetyg)
Urvalsregler
Urval sker i enlighet med Högskoleförordningen och den lokala antagningsordningen.
Undervisning
Undervisningen bedrivs i form av självstudier och seminarier.
Examination
På kursen ges något av betygen Godkänd (G) eller Underkänd (U).
Betygsskala
Underkänd (U) eller Godkänd (G)
Litteratur
Silicon VLSI Technology av James D. Plummer, ISBN: 9780136141563
Kolla om litteraturen finns på biblioteket